Кабинет нпо-спо
     
    


Оформить заказ
 
Комплекты таблиц для профессионального образования
Методическая литература
Образовательные программы на CD
Пособия для интерактивных досок
Спецкурсы
     Информатика. Программирование
     Нанотехнологии
Учебники для начального профессионального образования
Учебники для среднего профессионального образования
Учебное оборудование для кабинетов

Главная : Спецкурсы : Нанотехнологии :

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
увеличить...

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие


добавить в корзину
Наша цена: 327.00руб.
Внутренний код (артикул): 603939

Наличие на складе: да


В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики в пособии «Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях» рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Отлично!
Хорошо
Средне
Плохо
Очень плохо

 

Copyright © Кабинет нпо-спо. All rights reserved.