Кабинет нпо-спо
     
    


Оформить заказ
 
Комплекты таблиц для профессионального образования
Методическая литература
Образовательные программы на CD
Пособия для интерактивных досок
Спецкурсы
     Информатика. Программирование
     Нанотехнологии
Учебники для начального профессионального образования
Учебники для среднего профессионального образования
Учебное оборудование для кабинетов

Главная : Спецкурсы : Нанотехнологии :

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов Т.2
увеличить...

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов Т.2


добавить в корзину
Наша цена: 342.00руб.
Внутренний код (артикул): 607106

Наличие на складе: да


Разделение книги «Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий » на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионнохимического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.

Отлично!
Хорошо
Средне
Плохо
Очень плохо

 

Copyright © Кабинет нпо-спо. All rights reserved.